各種控制儀器設(shè)備的功能越來越大，有些精密儀器或設(shè)備，體積本身就小，還需要接上各種傳感器進行感知和控制，這也

對傳感器微型化提出了更高的要求。因而傳感器本身體積也是越小越好，這就要求發(fā)展新的材料及加工技術(shù)，目前利用硅材料制

作的傳感器體積已經(jīng)很小。如傳統(tǒng)的加速度傳感器是由重力塊和彈簧等制成的，體積較大、穩(wěn)定性差、壽命也短，而利用激光等

各種微細加工技術(shù)制成的硅加速度傳感器體積非常小、互換性可靠性都較好。微型傳感器可以不受空間大小制約而安放在狹小位

置上，并有對被測對象的狀態(tài)干擾小、時間應(yīng)快和成本低等優(yōu)點。過去制作傳感器一邊用眼看一邊用手加工，就是機械加工也受

到機械能力的限制。以集成技術(shù)為基礎(chǔ)的微細加工技術(shù)則不然，能把電路加工到光波數(shù)量級，而且可批量生產(chǎn)，價格便宜。

        集成電路加工技術(shù)由三大摹本技術(shù)組成：平面電子工藝技術(shù)；有選擇的化學(xué)腐蝕技術(shù)和機械切割技術(shù)。這三項技術(shù)都能進行

三維加工。平面電子工藝技術(shù)是把在硅表面生成的氧化膜作為一種掩膜，在具有掩膜的硅單晶上進行具有空間選擇的擴散和腐蝕加

工。所以平面電子工藝技術(shù)包括照相制版技術(shù)、雜質(zhì)擴散技術(shù)、離子注入技術(shù)和化學(xué)氣相沉積技術(shù)等。利用有選擇的化學(xué)腐蝕技

術(shù)能對由平面電子工藝技術(shù)制作而成的氧化物掩膜和已擴散了雜質(zhì)的半導(dǎo)體物體空間進行有選擇的化學(xué)腐蝕加工。利用這種技術(shù)

可以在特定方向上把硅體腐蝕掉，可以進行三維加工。這種微加工技術(shù)可以把物體加工成極微細的可動部件，如應(yīng)力桿狀物，開

關(guān)甚至馬達等。

         美國斯坦福大學(xué)已把過去相當大的連搬遙都困難的氣相色譜儀集成在直徑5cm的硅片上，制成超小型氣相色譜儀，現(xiàn)在的

傳感器概念已跳出原來含義的小圈子，而是以微型、集成化和智能化為特征的微系統(tǒng)。該微系統(tǒng)除具有自測試、自校準和數(shù)字補

償?shù)?/span>微處理器之外，還具有微執(zhí)行器?，F(xiàn)代的微細加工技術(shù)已把微傳感器、微處理器和微執(zhí)行器集成在一塊硅片上構(gòu)成微系統(tǒng)。

        Mems技術(shù)的發(fā)展使微型傳感器提高到了一個新的水平，利用微電子機械加工技術(shù)將微米級的敏感元件、信號處理器、數(shù)據(jù)

處理裝置封裝在同一芯片上，它具有體積小、價格便宜、可靠性高等特點，并且可以明顯提高系統(tǒng)測試精度。

        MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。借助MEMS技術(shù)的發(fā)展，傳感

器技術(shù)將朝著微型化、智能化、多功能化的方向發(fā)展，這也正適合自動化和工業(yè)控制對傳感器性能的需求。目前采用Mems技術(shù)可

以制作檢測力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量的微型傳感器。由于Mems微型傳感器在降低汽車電子系統(tǒng)成本及提高其性

能方面的優(yōu)勢，它們已開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的傳感器。Mems傳感器將成為世界汽車電子的重要構(gòu)成部分。